扩散泵真空机组

扩散泵真空机组

一、扩散泵真空机组概述：

 

扩散泵系列真空机组以罗茨旋片机组作为预抽，扩散泵主体及挡板均有改进，使得在较低真空领域抽速有较大成度增加。它以油扩散泵为主泵和阀门、水冷挡板、管道、机械真空泵（前级泵）等组成高真空抽气系统，可获得（10-2—10-4Pa）的工作真空度。扩散泵系列真空机组可作为真空冶炼、真空烧结、真空热处理、真空镀膜、真空钎焊、真空浸渍、太空模拟试验装置等高科技设备的高真空获得装置，以及其它需要在10-1 --10-4帕的低气压(高真空)环境下工作的真空系统的配套设备。

 

扩散泵系列真空机组的特点是抽气能力大，抽速从190L/S至49000L/S范围内可供选择；并可长时间稳定连续工作。扩散泵系列真空机组被广泛地应用在电子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物医药、原子能、宇宙探测等高科技领域。如各种真空炉、真空镀膜设备、真空冷冻干燥设备等。典型真空机组是用气动阀门程序控制。如需其他驱动方法，请在订货时注明。

 

二、扩散泵系列真空机组的性能参数表：

型号 Model JK-100 JK-150 JK-200 JK-300 JK-400 JK-630 JK-800

极限压力(Pa) Ultimate Pressure 10-4

抽气速率(1/S) Pumping speed 100 280 420 900 1800 4000 6500

最大排气压力(Pa) Max. pumping pressure 35

加热功率(Kw) Heating power 0.8 1 1.5 2.1 4.8 8.4 19.8

配用主泵 Matched main pump K-100 K-150 K-200 K-300 K-400 K-630 K-800

配用挡板 Matched baffle LB-100 LB-150A LB-200B LB-300A LB-400 LB-630 LB-800

配用阀门 Matched valve GD-100 GD-150 GD-200 GDQ-300 GDQ-400 GDQ-630 GDQ-800

配用前级泵 Matched backing pump 2X-4 2X-8 2X-8 2X-15 2X-30 2X-70 2X-70 ZJ-600

接口法兰 Connecting flange LF-100 LF-150 LF-200 LF-300 LF-400 LF-630 LF-800

结构尺寸(mm) Structure dimensions H 870 950 1000 1300 1600 2000 2400

L 550 650 750 850 950 1100 2000

型号 Model JTK-100 JTK-150 JTK-200 JTK-300 JTK-400 JTK-500

极限压力(Pa) Ultimate Pressure 10-4

抽气速率(1/S) Pumping speed 180 370 600 1400 2500 4000

最大排气压力(Pa) Max. pumping pressure 35

加热功率(Kw) Heating power 0.8 1.2 1.5 2.4 4.5 6

配用主泵 Matched main pump TK-100 TK-150 TK-200 TK-300 TK-400 TK-500

配用挡板 Matched baffle LB-100 LB-150A LB-200B LB-300A LB-400 LB-500

配用阀门 Matched valve GD-100 GD-150 GD-200 GDQ-300 GDQ-400 GDQ-500

配用前级泵 Matched backing pump 2X-4 2X-8 2X-15 2X-30 2X-70 2X-70 ZJ-600

接口法兰Connecting flange LF-100 LF-150 LF-200 LF-300 LF-400 LF-500

结构尺寸(mm) Structure dimensions H 870 950 1000 1300 1600 1700

L 650 750 850 950 1150 1500