应用于塑料制品、陶瓷、树脂、水晶玻璃制品等、工艺品、塑料手机壳、电子产品、建材等行业。
该系列设备主要是使用直流(或中频)磁控溅射,可适应广泛镀膜靶材,如:铜、钛、铬、不锈钢、镍等金属材料,可以利用溅射工艺进行镀膜,可提高膜层的附着力、重复性、致密度、均匀度等特点。
主机控制采用可编程序控制器(PLC)+触摸屏(HMI)组合电器控制系统。全自动控制,配置先进大功率磁控电源,恒流输出,克服靶中毒。
技术参数说明
型号:ZDCE-1400
真空室尺寸:Φ1400X1950
制膜种类:多功能金属膜、复合膜、透明导电膜、增反射膜、电磁屏蔽膜、装饰膜等
电源类型:直流磁控电源、中频磁控电源、高压离子轰击电源
圆柱靶:直流磁控靶、中频孪生靶、平面靶
真空室结构:立式双开门、立式单开门
真空系统:滑阀泵+罗茨阀+扩散阀+维持阀(或选配:分子泵、深冷泵、深冷系统)
充气系统:质量流量控制仪(1-4路)
极限真空:6X10-4pa(空载、净室)
抽气时间:空载大气抽至5X10-3pa小于15分钟
工件旋转方式:6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速
控制方式:手动+半自动+全自动一体化/触摸屏+PLC
备注:真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做
(资料仅供参考,部分参数可能有所变动,恕不另行通知)