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材料名称 化学符号 纯度 成分比列 形状
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铜铝合金靶材
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Al-Cu
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99.99%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，
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铝铬合金靶材
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Al-Cr
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99.95%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，
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铝镁合金靶材
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Al-Mg
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99.99%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，
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铝硅合金靶材
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Al-Si
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99.99%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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铝硅铜合金靶
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Al-Si-Cu
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99.99%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，
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铝银合金靶材
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Al-Ag
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99.99%
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可按要求配料
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圆片靶 矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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钨钛合金靶材
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W-Ti
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99.99%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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铬硅合金靶材
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Cr-Si
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99.95%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，
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钴铬合金靶材
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Co-Cr
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99.95%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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钴铁合金靶材
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Co-Fe
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99.99%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，
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钴镍合金靶材
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Co-Ni
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99.99%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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钴铁硼合金靶
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Co-Fe-B
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99.99%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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铜钴合金靶材
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Cu-Co
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99.95%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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铜钆合金靶材
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Cu-Ga
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99.99%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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铜铟合金靶材
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Cu-In
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99.99%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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铜镍合金靶材
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Cu-Ni
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99.95%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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铜锆合金靶材
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Cu-Zr
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99.9%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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铪铁合金靶材
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Hf-Fe
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99.9%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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铁硼合金靶材
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Fe-B
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99.9%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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铁碳合金靶材
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Fe-C
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99.9%
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可按要求配料
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圆片靶 矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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铁锰合金靶材
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Fe-Mn
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99.5%
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可按要求配料
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圆片靶 矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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锆铝合金靶材
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Zr-Al
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99.5%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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锆铁合金靶材
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Zr-Fe
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99.9%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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铟锡合金靶材
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In-Sn
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99.99%
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可按要求配料
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圆片靶 矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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钼硅合金靶材
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Mo-Si
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99.5%
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可按要求配料
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圆片靶 矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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镍铝合金靶材
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Ni-Al
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99.9%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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镍铬合金靶材
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Ni-Cr
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99.95%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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镍铬硅合金靶
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Ni-Cr-Si
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99.95%
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可按要求配比
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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镍铁合金靶材
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Ni-Fe
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99.9%
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可按要求配比
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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镍铌钛合金靶
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Ni-Nb-Ti
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99.9%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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镍钛合金靶材
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Ni-Ti
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99.95%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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镍钒合金靶材
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Ni-V
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99.9%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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钐钴合金靶材
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Sm-Co
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99.9%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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银铜合金靶材
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Ag-Cu
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99.99%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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银锡合金靶材
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Ag-Sn
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99.99%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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钽铝合金靶材
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Ta-Al
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99.9%
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可按要求配料
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圆片靶 矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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锆钇合金靶材
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Zr-Y
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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锆钛合金靶材
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Zr-Ti
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99.99%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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钛铝合金靶材
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Ti-Al
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99.9%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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钛镍合金靶材
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Ti-Ni
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99.9%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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锆铝合金靶材
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Zn-Al
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99.9%
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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钛铬合金靶材
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Ti-Cr
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99.99
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可按要求配料
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圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶
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